超纯水设备是采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。
超纯水系统设备的脱盐核心部件为进口反渗透膜组件，超纯水系统设备通常由预处理部分，反渗透主机部分，后处理部分共同组成。
1、预处理：由石英砂过滤器、活性碳过滤器、全自动软水器、精密过滤器组成(我晨兴公司采用全自动控制阀头)，也可选用超滤系统作为预处理，但通常工程造价要高。预处理主要目的是去除原水中含有的泥沙，铁锈、胶体物质、悬浮物、色度、异味、生化有机物。当原水中硬度较高时，可选择全自动软水器，这样有效的保护了反渗透膜，从而延长了反渗透膜的使用寿命。
2、反渗透主机：主要由高压泵、膜壳、进口反渗透膜组件，在线仪表、控制电气等组成。只要膜的数量及泵的型号选型得当，反渗透主机脱盐率及产水量都能达到额定指标，出水电导率可保证在≤10us. CM以下，(原水电导率小于500us/cm,工作温度：1～40℃)
3、后处理部分：是对反渗透制取的纯水作进一步的深化处理以制取超纯水，通常是离子交换混床设备或EDI设备，根据客户要求，出水阻率可达到18.2MΩ.CM，如果是应用在直饮水工艺上，则加上杀菌装置即可，通常为紫外线杀菌器或者臭氧发生器，从而使生产出来的水达到直饮标准。
超纯水设备工作原理
1. 水进入纯化系统，主要部分流入树脂 / 膜内部，而另一部分沿模板外侧流动，以洗去透出膜外的离子。 2. 树脂截留水中的溶存离子。 3. 被截留的离子在电极作用下，阴离子向正极方向运动，阳离子向负极方向运动。 4. 阳离子透过阳离子膜，排出树脂 / 膜之外。 5. 阴离子透过阴离子膜，排出树脂 / 膜之外。 6. 浓缩了的离子从废水流路中排出。 7. 去离子水从树脂 / 膜内流出。
超纯水设备主要用途
1、超纯材料和超纯试剂的生产和清洗。 2、电子产品的生产和清洗。 3、电池产品的生产。 4、半导体产品的生产和清洗。 5、电路板的生产和清洗。
超纯水设备水质标准
出水水质：电阻率>15MΩ.cm 行业标准：超纯水水质分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。
